薄膜测厚仪器
• 波长范围:400到1100 nm• 光斑尺寸:500μm至5mm• 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm• 基板尺寸:多可至50毫米厚• 测量厚度范围*:20nm〜50μm• 测量时间:快2毫秒 • 精确度*:优于0.5%
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一个第三更加灵活解决方案采用了凹面反光对图像的第一个镜像到第二个。所有这些系统具有调查设计参数时,应认真考虑的好处和缺点。
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